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產(chǎn)品分類products
GT180質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品型號(hào)：
所屬分類：GT180質(zhì)量流量控制器
更新時(shí)間：2024-07-01
瀏覽次數(shù)：6941
簡(jiǎn)要描述：GT180質(zhì)量流量控制器工作原理：氣體通過(guò)質(zhì)量流量傳感器，控制電路通過(guò)模數(shù)轉(zhuǎn)換器讀取質(zhì)量流量傳感器采集信號(hào)?？刂齐娐犯鶕?jù)傳感器讀取值與控制信號(hào)設(shè)定值通過(guò)相關(guān)算法調(diào)節(jié)比例閥，從而精準(zhǔn)控制氣體輸出流量。
詳細(xì)說(shuō)明：
氣體質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller 縮寫為MFC) 用于對(duì)氣體的質(zhì)量流進(jìn)行精密測(cè)量和控制。它們?cè)诎雽?dǎo)體集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。典型應(yīng)用場(chǎng)合有微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測(cè)量、氣相色譜儀以及其他分析儀器。
l 產(chǎn)品特點(diǎn)
l 經(jīng)濟(jì)適用
l 超低功耗
l 高集成度緊湊型設(shè)計(jì)
l 多種氣體校準(zhǔn)
l RJ45（網(wǎng)口）通用接口
l 數(shù)字控制和模擬控制雙模式
l 標(biāo)準(zhǔn)RS485 Modbus RTU通信協(xié)議
l 模擬輸入1-5V/模擬輸出1-5V
l 采用進(jìn)口高精度傳感器
l 采用進(jìn)口比例閥控制
l 模糊PID算法，可更改PID控制參數(shù)
l 內(nèi)置環(huán)境氣壓傳感器
l 內(nèi)置環(huán)境溫度傳感器
l 高重復(fù)性
l 低溫度漂移
l 控制參數(shù)自整定功能
l 具有自動(dòng)調(diào)零功能
l 電路防浪涌設(shè)計(jì)
l 具有故障報(bào)警功能
l 技術(shù)特點(diǎn)
l 微處理器控制
MFC內(nèi)部采用可編程未處理器控制，使用PID控制，可實(shí)現(xiàn)不同工況條件下進(jìn)行高速精確的流量控制。
l RS-485總線接口
MFC內(nèi)置RS-485總線接口，可選擇使用RS-485控制或按鍵控制兩種模式。可通過(guò)RS-485總線組網(wǎng)，實(shí)現(xiàn)多臺(tái)MFC同時(shí)控制。
l 便捷標(biāo)定方法
可通過(guò)專用標(biāo)定軟件對(duì)MFC進(jìn)行標(biāo)定，只需將MFC通過(guò)RS-485總線與PC連接即可進(jìn)行標(biāo)定。
l 緊湊的外形尺寸
MFC尺寸非常小巧緊湊，用戶使用時(shí)，不但能夠減小系統(tǒng)體積和重量，同時(shí)能夠集成更多的功能模塊。
l 多氣體多量程選擇
MFC可選擇多種氣體種類（H2、N2、Air、He等），用戶可根據(jù)用戶手冊(cè)及使用需求進(jìn)行操作選擇。同時(shí)，本公司提供不同量程MFC產(chǎn)品，用戶可根據(jù)需求進(jìn)行選。
l 應(yīng)用范圍
l 氣象色譜儀
l 環(huán)保監(jiān)測(cè)設(shè)備
l 制氣配氣
l CVD材料制備裝置
l 半導(dǎo)體/光伏設(shè)備
l 生物發(fā)酵/醫(yī)療儀器
l 其他實(shí)驗(yàn)室分析儀器
l 技術(shù)參數(shù)
| 項(xiàng)目 | 參數(shù)信息 |
| 最大量程 | 50sccm~20slpm(可定制) |
| 精度 | ±1%F.S. |
| 線性 | ±1%F.S. |
| 重復(fù)精度 | ±0.2%F.S. |
| 氣體類型 | H2/He/N2/Air/Ar（可定制）） |
| 響應(yīng)時(shí)間 | 1s |
| 壓差范圍 | <1MPa |
| 工作溫度 | 0~50℃ |
| 工作濕度 | 0~95%R.H.（非冷凝） |
| 工作電壓 | 24V±10%/12V±10% |
| 信號(hào)接口 | RS-485（Modbus），模擬電壓信號(hào) |
| 氣路材質(zhì) | 不銹鋼/鋁合金/鋁合金惰性涂層 |
| 氣路接口 | 1/16 |
| 尺寸 | 50×24×55mm |
l 外形尺寸
單位：毫米（mm）
l 接口定義
l 產(chǎn)品選型
感謝您購(gòu)買使用吉思特GT180質(zhì)量流量控制器(MFC)。
本手冊(cè)描述了GT180質(zhì)量流量控制器功能、性能以及使用產(chǎn)品達(dá)到最佳使用效果的應(yīng)用方法。
請(qǐng)?jiān)谑褂迷摦a(chǎn)品時(shí)注意以下事項(xiàng)：
l 在使用該產(chǎn)品前應(yīng)通讀并理解本手冊(cè)以確保正確的使用。
l 使用該產(chǎn)品人員應(yīng)具有基本的電氣系統(tǒng)知識(shí)。
l 請(qǐng)妥善保管本手冊(cè)以確保在需要時(shí)可以隨時(shí)查閱。
注意事項(xiàng)
l 通電期間，請(qǐng)勿觸碰端子。
l 不得讓金屬物體、導(dǎo)線、液體等進(jìn)入控制器，否則引起設(shè)備短路、觸電或火災(zāi)等危險(xiǎn)事件。
l 請(qǐng)勿將本產(chǎn)品置于易燃易爆等場(chǎng)合。
l 絕對(duì)不要拆卸、改裝以及修理該產(chǎn)品或解除任何內(nèi)部元件。
l 請(qǐng)?jiān)O(shè)定適合系統(tǒng)控制使用的產(chǎn)品參數(shù)。如果設(shè)定不當(dāng)，可能會(huì)因意外操作而造成財(cái)產(chǎn)損失或事故。
l 請(qǐng)?jiān)谝?guī)定的時(shí)間內(nèi)對(duì)該設(shè)備進(jìn)行標(biāo)定，以確保設(shè)備的準(zhǔn)確性。
l 設(shè)備通電前，請(qǐng)確認(rèn)接線是否正確，供電電壓是否符合使用手冊(cè)要求。
l 使用氣體必須凈化，切忌粉塵、液體和油污。必要時(shí)，須在氣路中加裝過(guò)濾器等。
l 使用前，請(qǐng)確認(rèn)使用氣體是否與標(biāo)定氣體相符，以免導(dǎo)致流量數(shù)據(jù)錯(cuò)誤。
l 請(qǐng)勿使用腐蝕性氣體，以免MFC氣路損壞。
保修與服務(wù)
l 本公司生產(chǎn)的MFC產(chǎn)品在出貨1年以內(nèi)，如果用戶按照使用手冊(cè)正常使用，且產(chǎn)品沒(méi)有遭受物理?yè)p害、污染、改裝或翻新，若有問(wèn)題，免費(fèi)維修。
l 免費(fèi)維修范圍，不包含氣路接頭及氣路接頭密封圈。
l 請(qǐng)收到產(chǎn)品后及時(shí)對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行驗(yàn)收，出現(xiàn)問(wèn)題請(qǐng)及時(shí)反饋銷售人員。
l 保修期內(nèi)，產(chǎn)品必須由本公司或授權(quán)的服務(wù)中心修理。
l 用戶使用過(guò)有毒、有污染或腐蝕性氣體的產(chǎn)品，本公司將不負(fù)責(zé)修理或保修。
l 輸入的氣體壓力必須符合產(chǎn)品的耐壓標(biāo)準(zhǔn), 不能超過(guò)該產(chǎn)品要求的最大壓力。
l 產(chǎn)品的使用氣體必須與用戶訂貨選擇的密封材料相適應(yīng), 用戶有責(zé)任按照可用的安全規(guī)章使用每種氣體。不正確的使用產(chǎn)品會(huì)使保修無(wú)效，由于不正確的使用所導(dǎo)致的損害不能歸咎于本公司。
l 禁止自行拆開(kāi)MFC。如果自行拆卸造成損壞，則本公司承諾的保修無(wú)效。
天津吉思特儀器儀表有限公司
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